半導(dǎo)體及太陽(yáng)能薄膜工藝會(huì)使用到超高純硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化鎢WF6、高純氨NH3等特氣，這些氣體具有易燃、劇毒、強(qiáng)腐蝕等特性，但卻是精密半導(dǎo)體電子元器件、新能源光電產(chǎn)品制造的必不可少的重要原料。

    壓縮空氣管道生產(chǎn)中若發(fā)生氣體泄漏，將會(huì)造成非常嚴(yán)重的產(chǎn)品質(zhì)量和人身傷亡事故。為確保安全，此類高純特氣的輸送管道采用不銹鋼雙層管道。該管道施工時(shí)，對(duì)作業(yè)環(huán)境潔凈度、管道內(nèi)外管材的潔凈度、焊接和安裝質(zhì)量的要求都非常高。

    常規(guī)壓縮空氣管道雙層管彎頭需定做，定做成品成本高，而且質(zhì)量不易得到保證。施工中，可通過(guò)設(shè)計(jì)使用彎管裝置，現(xiàn)場(chǎng)制作彎頭，解決此加工問(wèn)題。在雙層管道彎管時(shí)，于內(nèi)外管間套不銹鋼彈簧圈，作為內(nèi)外管傳力物，確保彎管過(guò)程中內(nèi)外管的真圓度，使彎管質(zhì)量達(dá)到要求。直管段外層管亦采用彈簧圈支墊，確保雙層管夾層空間距離，起到雙層管保護(hù)作用。彎管時(shí)不可取開(kāi)管道兩端的封頭，彎頭成型后角度偏差不大于5°。

     半成品和成品的保護(hù)措施應(yīng)及時(shí)有效，加工完成或焊接完成后及時(shí)將管子兩端密封。焊接管子對(duì)口必須為正方并緊密連接，在對(duì)口位置所允許的圓角和倒為壁厚的十分之一，連接口需在鎢極的中心位置。焊接時(shí)，按要求進(jìn)行內(nèi)充氬保護(hù)，控制氬氣流量大小。焊工施焊時(shí)，要求氬弧焊機(jī)焊接時(shí)電流穩(wěn)定，焊接速度應(yīng)保持均勻一致。